Biegebalkensensor


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Druck-(Kraft-)Sensor auf der Basis eines Biegekörpers, der sich unter der Last F verformt und dessen Formänderung erfasst wird. In der Mikromechanik wird der Biegebalkensensor aus monokristallinem Silizium herausgearbeitet. Bei Durchbiegung entsteht hier durch den piezoresistiven Effekt ein Signal

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