Biegebalkensensor

Druck-(Kraft-)Sensor auf der Basis eines Biegekörpers, der sich unter der Last F verformt und dessen Formänderung erfasst wird. In der Mikromechanik wird der Biegebalkensensor aus monokristallinem Silizium herausgearbeitet. Bei Durchbiegung entsteht hier durch den piezoresistiven Effekt ein Signal