Ausbreitungswiderstandssensor
Halbleiter-Temperatursensor, dessen Prinzip dem Verfahren der Dickenmessung leitender Schichten entspricht, indem man auf die Schicht zwei Mess-Spitzen im Abstand a aufsetzt und den Widerstand der leitenden Schicht zwischen den Spitzen ermittelt. Der Widerstand dieser Schicht ist temperaturabhängig. (Ausbreitungswiderstand)
Alternative Schreibweisen (Synonyme):
Ausbreitungswiderstandssensoren, Ausbreitungswiderstandssensors
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