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Sensor zum Messen von Drücken, die als Relativ-, Absolutdruck- und Differenzdrucksensor ausgelegt sein können. Als Sensormaterial kommen Silizium, Keramik, Metall und Quarz in Frage. Nach den Ausführungsformen kann in Prozesssensoren, Einfachsensoren und Sensorkomponenten unterschieden werden. Zur Erfassung der Messgröße werden verschiedene physikalische Effekte ausgenutzt, z.B. Drucksensor piezoresistiver, Drucksensor frequenzanaloger, Drucksensor mit Hallelement, Drucksensor kapazitiver und Drucksensor monolithischer. |
